等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)：
1：真空度：用皮拉尼原理測(cè)量到Pa，千帕是用壓力規(guī)測(cè)試，不是一個(gè)量級(jí)的。
2：傳感器：用的進(jìn)口的氣體流量傳感器，是質(zhì)量流量計(jì)檢測(cè)氣體，度是通入流量的±1.5%。浮子流量計(jì)，是滿量程的4%，而且浮子球是上下浮動(dòng)，手碰一下亂跑，真實(shí)效果達(dá)不了那么高。
4：功率是150W，國(guó)內(nèi)都是統(tǒng)一的。
5：2路流量計(jì)，質(zhì)量流量計(jì)采集更，流量控制 2個(gè)精密針閥調(diào)節(jié)，線性調(diào)節(jié)度較好。
6： 真空采集皮拉尼原理真空計(jì)，測(cè)量大氣壓到0.1Pa的真空。
7： 通過(guò)的流量檢測(cè)及真空采集 使自動(dòng)控制一氣呵成，通過(guò)檢測(cè)固定的真空值讓射頻輝光，即使是手動(dòng)匹配射頻電源，也只需要匹配一次，下次相同工藝，基本不需要再次調(diào)節(jié)匹配 。
問(wèn)：清洗光刻膠可以嗎？
答：簡(jiǎn)單的理解就是用氧氣把光刻膠燃燒掉，光刻膠的基本成分是碳?xì)溆袡C(jī)物，在射頻或微波作用下，氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通過(guò)泵被真空抽走，完成光刻膠的去除。
問(wèn)：可以去除表面雜質(zhì)和一些膠嘛？
答：這個(gè)就是清洗半導(dǎo)體芯片表面纏雜的膠和雜質(zhì)，可以去除納米級(jí)別的微小的膠和其它顆粒或者薄膜。
問(wèn)：操作方便嘛
答：操作很方便。開關(guān)打開后，石英腔體抽真空，然后產(chǎn)生等離子，等離子和表面的污染物產(chǎn)生反應(yīng)，產(chǎn)生廢氣，真空泵把廢氣抽走，等離子清洗機(jī)里面有一個(gè)托盤，咱們把產(chǎn)品放托盤上面，就可以清洗了。