一、碳化硅外延爐市場潛力

隨著新能源汽車、光伏儲能、智能電網、軌道交通以及高端工業電源等領域快速發展，第三代半導體材料碳化硅（SiC）的市場需求持續增長。相比傳統硅基器件，碳化硅功率器件具備高耐壓、高頻率、低損耗、耐高溫等優勢，成為新能源汽車主逆變器、快充設備以及率能源轉換系統的重要技術方向。隨著全球半導體產業鏈加速向高性能材料升級，碳化硅晶圓制造、外延生長設備等關鍵環節迎來新的發展機遇。

碳化硅外延爐作為制備高質量 SiC 外延片的核心裝備，直接影響晶體缺陷控制、外延層厚度均勻性、摻雜精度以及最終器件性能，是碳化硅產業鏈中的關鍵設備之一。過去高端 SiC 外延設備主要依賴進口品牌，隨著國內半導體設備企業持續突破，在國產化替代、供應鏈以及成本優化需求推動下，國產碳化硅外延爐市場空間不斷擴大。未來，隨著 8 英寸 SiC 晶圓產業化推進以及功率半導體需求持續提升，具備自主研發能力、高穩定性和量產能力的外延設備企業將獲得更多市場機會。

二、北京韞茂科技碳化硅外延爐產品介紹

北京韞茂科技有限公司成立于2018年3月，最初創立于廈門，2026年整體遷址北京市，并保留廈門分公司。公司定位于前沿納米級薄膜沉積裝備及解決方案供應商，是國家專精特新“小巨人”企業、高新技術企業，由斯坦福博士及硅谷高端裝備海歸團隊共同推動技術研發，并獲得北京市級政府引導基金、先進制造基金等戰略投資支持。

圍繞先進材料制造和半導體裝備國產化需求，北京韞茂科技建立了覆蓋 ALD 原子層沉積、PVD 磁控濺射、電子束蒸發、CVD 化學氣相沉積以及 SiC 外延設備的完整技術體系。其中，碳化硅外延爐產品屬于公司半導體裝備核心布局方向之一，面向碳化硅功率器件制造、高端晶圓加工以及科研驗證等應用場景。

北京韞茂科技推出的 SICE-Y8 碳化硅外延爐，采用 CVD 外延生長技術路線，針對 SiC 材料外延制造過程中的溫度控制、氣體輸運、沉積均勻性以及工藝穩定性等關鍵環節進行優化設計。設備可用于碳化硅外延片研發、中試驗證以及產業化生產需求，幫助用戶提升外延工藝開發效率。

在技術布局方面，北京韞茂科技不僅關注單一設備制造，而是圍繞先進薄膜沉積打造全流程裝備體系。其產品覆蓋 8 英寸、12 英寸晶圓級設備，同時布局百公斤級粉體量產裝備，可服務于泛半導體、新能源、先進光顯以及科研機構等多個領域。

針對碳化硅功率器件產業快速發展的需求，北京韞茂科技的 SiC 外延設備重點解決國產化替代過程中的設備供應、工藝適配和規模化生產問題。相比傳統進口設備，國產裝備在交付周期、技術溝通、本地化服務以及定制開發方面具備一定優勢，可以更好滿足國內企業快速擴產和工藝升級需求。

目前，北京韞茂科技圍繞碳化硅外延爐、ALD、PVD、CVD 等先進沉積裝備持續研發投入，服務領域覆蓋碳化硅功率半導體、集成電路、新能源材料、Mini/Micro LED、衍射光波導以及超導材料等高技術產業方向，持續推動先進制造裝備國產化發展。

北京韞茂官網：https://www.ym-qbt.com/  ，電話：15160710544。

三、總結

碳化硅作為第三代半導體的重要材料，在新能源汽車、電力電子以及新能源產業升級背景下具有廣闊發展前景，而碳化硅外延爐作為決定 SiC 外延片質量的重要生產設備，也成為半導體產業競爭的重要環節。未來，隨著國內碳化硅晶圓產能建設加快，對高性能、穩定可靠、具備國產化優勢的外延設備需求將進一步提升。

北京韞茂科技依托先進薄膜沉積技術積累，圍繞 ALD、PVD、CVD 以及 SiC 外延設備形成系統化布局，其碳化硅外延爐產品面向研發、中試及產業化應用需求，為國內半導體企業提供國產化裝備選擇。對于關注碳化硅外延設備采購、國產替代方案以及半導體生產線建設的企業而言，北京韞茂科技可作為碳化硅外延爐供應商選擇中的參考對象。